Tomando como ejemplo el escalamiento de la deposición, este artículo presenta cómo utilizar el difractómetro de rayos X para el análisis cuantitativo y de fase cualitativa.

La aplicación de nuevas tecnologías y nuevos productos como 5G, big data e inteligencia artificial generará una enorme demanda en el mercado de semiconductores, y el gasto mundial en equipos de semiconductores ha entrado en un ciclo ascendente.

XRD de alta resolución (HR-XRD) es un método común para medir la composición y el espesor de semiconductores compuestos como SiGe, AlGaAs, InGaAs, etc.

El difractómetro de rayos X (DRX) se puede dividir en difractómetro de polvo de rayos X y difractómetro de cristal único de rayos X; el principio físico básico de los dos es el mismo.

XRD es un medio de investigación que consiste en la difracción mediante difracción de rayos X de un material para analizar su patrón de difracción para obtener información como la composición del material, la estructura o forma de los átomos o moléculas dentro del material.

La difracción de rayos X de incidencia rasante (GI-XRD) es un tipo de técnica de difracción de rayos X, que se diferencia del experimento XRD tradicional, principalmente porque cambia el ángulo de incidencia de los rayos X y la orientación de la muestra.

La difracción de rayos X (XRD) es actualmente un método poderoso para estudiar la estructura cristalina (como el tipo y la distribución de ubicación de átomos o iones y sus grupos, la forma y el tamaño de las células, etc.).

Basado en la Ley de Bragg, la difracción de rayos X (DRX) in situ se puede utilizar para monitorear el cambio de fase y sus parámetros reticulares en el electrodo o en la interfaz electrodo-electrolito en tiempo real durante el ciclo de carga-descarga de un batería.

Difracción de rayos X, a través de la difracción de rayos X de un material, el análisis de su patrón de difracción, para obtener la composición del material, la estructura o forma de los átomos o moléculas dentro del material y otros medios de investigación.

Los rayos X son un tipo de radiación electromagnética de longitud de onda corta, entre los rayos ultravioleta y gamma, que fue desarrollado por el físico alemán WK Fue descubierto por Roentgen en 1895, por lo que también se le llama rayos Roentgen.

Cuando la difracción de rayos X se proyecta en un cristal como una onda electromagnética, los átomos del cristal la dispersan y las ondas dispersas parecen emanar del centro de los átomos, y las ondas dispersas se emiten desde el centro de cada átomo. son similares a las ondas esféricas fuente.

Hoy, compartamos algunos conocimientos sobre el funcionamiento del difractómetro de rayos X, principalmente en los siguientes aspectos.