difracción de rayos X La técnica se utiliza a menudo para detectar la calidad del cristal de obleas y obleas epitaxiales. Con esta técnica de medición se puede obtener información como constantes de fase y de red, cristalinidad, densidad de dislocaciones, tensión residual y composición y espesor. La Figura 1 muestra el diagrama esquemático de los instrumentos XRD convencionales.

Según diferentes métodos de escaneo, la Figura 2 muestra los grados de libertad de rotación de la fuente de rayos X, el detector y la muestra.XRD La detección tiene los siguientes métodos de medición:

(1) 2º/iescanear, dondeisuele ser la mitad de 2i. También es un método de escaneo comúnmente utilizado para la medición XRD de muestras de polvo, también conocido como escaneo simétrico o acoplado. Para muestras de película muy delgadas, el haz de rayos X se puede fijar en un ángulo de escaneo pequeño y el detector se mueve en la dirección de 2ipara recoger señales. Un método de detección de ángulo tan pequeño también se denomina detección XRD de incidencia rasante. La estructura de fase, la tensión deformación y el tamaño de grano de la muestra se pueden obtener mediante rayos X.difracciónpicos escaneados por 2θ/ω.

(2) Medición del gráfico polar. El diagrama polar es circular y suele estar realizado en coordenadas polares con coordenadas radiales. i y coordenadas angularesi. Es particularmente adecuado para muestras de textura de superficies. En algunos casos, no es necesaria una serie o completa de imágenes polares y se pueden medir mediante un escaneo en azimut.iescanear. En este momento, la información de orientación fuera del plano debe ser determinada de antemano por 2i/iescaneo, y la información interna de la cara del cristal se puede obtener mediante medición de imagen polar oiescaneo, para juzgar mejor la simetría del cristal.