El fenómeno físico de dispersión coherente de rayos X sobre el cristal se llama difracción, incluso si ocurre en un ángulo pequeño. Por ejemplo, si una fase tiene un valor d de 31,5 A y una difracción correspondiente de 2,80° (Cu-Kα), el pico de 31,5 A sigue siendo muy nítido si la fase tiene un alto grado de cristalinidad. Las películas delgadas también pueden producirdifracción de rayos Xconcentrado en un pequeño rango de ángulo dependiendo del espesor y la microestructura de la película. En estos casos, la intensidad de dispersión de rayos X de ángulo pequeño de la muestra proviene principalmente de la difracción de la muestra, lo que se denomina difracción de rayos X angular.

La irradiación con rayos X sobre partículas de polvo ultrafinas también provoca un fenómeno de dispersión coherente, que también se produce en la región de ángulo bajo. Sin embargo, las características del patrón de dispersión coherente producido por las partículas finas son completamente diferentes de las características del patrón de dispersión de ángulo pequeño.radiografíaPatrón de difracción producido por el gran espaciamiento de las caras del cristal o la película delgada de arriba.

Ángulo pequeñodifracción se utiliza generalmente para determinar el espaciado de caras de cristales muy grandes o el espesor de películas delgadas, así como la estructura microperiódica de películas delgadas y la distribución de agujeros periódicos.