Accesorios de medición integrados multifuncionales

El accesorio de medición integrado multifuncional, desarrollado por Dandong Tongda Technology Co., Ltd., es un módulo integrado de alta precisión diseñado específicamente para goniómetros de gran angular. Permite un análisis exhaustivo de películas delgadas sobre placas, materiales a granel y sustratos mediante un sistema de enlace multieje y control inteligente, lo que posibilita la determinación precisa de parámetros clave como la identificación de fases, la distribución de la orientación, la evolución de la textura, los campos de tensión residual y la estructura planar de la película delgada.

Principios técnicos básicos y características funcionales de los accesorios de medición integrados multifuncionales

Pruebas de figuras polares en modo dual (transmisión y reflexión)

El método de transmisión es adecuado para muestras transparentes o de capa delgada (por ejemplo, películas de polímero, recubrimientos ópticos). Detecta las señales de difracción que penetran en la muestra para obtener información sobre la orientación 3D de los granos internos.

El método de reflexión se centra en muestras altamente absorbentes u opacas (p. ej., láminas metálicas laminadas, sustratos cerámicos). Analiza la orientación de los planos cristalinos mediante señales de difracción superficial. La combinación de ambos métodos permite la construcción de figuras polares de espacio completo, lo que posibilita la cuantificación precisa de los tipos de textura (p. ej., textura fibrosa, textura laminar).

Pruebas de estrés mediante los métodos Psi (inclinación lateral) y Omega (acoplado)

El método Omega (escaneo acoplado) mantiene una alineación simétrica del detector y la fuente de rayos X, lo que lo hace adecuado para el análisis de tensiones superficiales.

El método Psi (inclinación lateral) consiste en inclinar la muestra para separar los gradientes de tensión de las distorsiones de la red cristalina. Es especialmente útil para el análisis detallado de la distribución de tensiones en materiales con gradiente o películas multicapa.

Al combinar los datos de ambos métodos, se pueden calcular las tensiones residuales macroscópicas (por ejemplo, las introducidas por el mecanizado o el tratamiento térmico), lo que proporciona una base de evaluación para la resistencia al desgaste y las propiedades antifatiga.

Análisis de la estructura planar de películas delgadas

Utiliza un escaneo continuo del eje β (rotación en el plano) desde 0° hasta 360° para mapear las orientaciones de los granos dentro del plano de la película.

Esta función está diseñada específicamente para estudios de coincidencia de redes en películas delgadas epitaxiales y materiales bidimensionales, lo que permite el análisis de las relaciones de orientación de la interfaz de heterounión y la densidad de defectos.

Sistema de posicionamiento mecánico de precisión

El sistema de movimiento multieje de los accesorios de medición integrados multifuncionales emplea codificadores de alta precisión y control de bucle cerrado para garantizar la repetibilidad y la precisión de los datos:

Eje α (Inclinación): Rango dinámico: -45° a 90°, Tamaño de paso mínimo: 0,001°. Admite mediciones desde incidencia rasante hasta difracción de alto ángulo.

Eje β (Rotación en el plano): rotación continua de 360°, tamaño de paso: 0,001°. Permite el escaneo de orientación sin ángulos muertos de la muestra.

Eje Z (elevación vertical): Rango de desplazamiento: 0-10 mm, tamaño de paso mínimo: 0,001 mm. Admite muestras de espesor variable (desde nanorecubrimientos finos hasta aleaciones gruesas).

Compatibilidad de muestras: Admite muestras de hasta Φ100 mm de tamaño con altura ajustable, lo que permite acomodar diversas formas, desde obleas de silicio hasta piezas de trabajo personalizadas.

Áreas de aplicación de los accesorios de medición integrados multifuncionales

Evaluación de la textura cristalográfica (orientación preferencial) en láminas metálicas laminadas y otros materiales metálicos;

Análisis de la orientación cristalina en cerámica;

Evaluación de la orientación cristalina preferida en muestras de película delgada;

Ensayos de tensiones residuales en diversos materiales metálicos y cerámicos (evaluación de propiedades como la resistencia al desgaste, la maquinabilidad, etc.);

Medición de tensiones residuales en películas multicapa (evaluación de la delaminación de la película, etc.);

Análisis de capas superficiales de óxido o nitruro en películas delgadas de materiales superconductores de alta temperatura, placas metálicas, etc.;

Caracterización de recubrimientos multicapa sobre sustratos de vidrio, silicio (Si) o metal (por ejemplo, películas delgadas magnéticas, recubrimientos metálicos endurecidos en superficie);

Análisis de materiales chapados/recubiertos sobre polímeros, papel, lentes y otros sustratos.

https://www.tongdaxrd.com/news/into-dandong-tongda-technology-co-ltd