Accesorios de medición integrados multifuncionales

El módulo integrado multifuncional de medición, desarrollado por Dandong Tongda Science and Technology Co., Ltd., es un módulo integrado de alta precisión diseñado específicamente para goniómetros de gran angular. Permite un análisis exhaustivo de películas delgadas sobre placas, materiales a granel y sustratos mediante la vinculación multieje y el control inteligente, lo que posibilita la determinación precisa de parámetros clave como la identificación de fases, la distribución de la orientación, la evolución de la textura, los campos de tensión residual y la estructura plana de la película delgada.

Principios técnicos fundamentales y características funcionales de los accesorios de medición integrados multifuncionales.

Pruebas de figura de polos de modo dual (transmisión y reflexión)

El método de transmisión es adecuado para muestras transparentes o de capa fina (por ejemplo, películas de polímeros, recubrimientos ópticos). Detecta las señales de difracción que penetran en la muestra para obtener información sobre la orientación tridimensional de los granos internos.

El método de reflexión se aplica a muestras altamente absorbentes u opacas (por ejemplo, láminas metálicas laminadas, sustratos cerámicos). Analiza la orientación del plano cristalino mediante señales de difracción superficial. La combinación de ambos métodos permite construir diagramas de polos de espacio completo, lo que posibilita la cuantificación precisa de los tipos de textura (por ejemplo, textura de fibra, textura de lámina).

Pruebas de resistencia mediante los métodos Psi (inclinación lateral) y Omega (acoplado)

El método Omega (escaneo acoplado) mantiene una alineación simétrica del detector y la fuente de rayos X, lo que lo hace adecuado para el análisis de tensiones superficiales.

El método Psi (inclinación lateral) consiste en inclinar la muestra para separar los gradientes de tensión de las distorsiones de la red cristalina. Es especialmente útil para el análisis en profundidad de la distribución de tensiones en materiales con gradiente o películas multicapa.

Al combinar los datos de ambos métodos, se pueden calcular las tensiones residuales macroscópicas (por ejemplo, las introducidas por el mecanizado o el tratamiento térmico), lo que proporciona una base de evaluación para la resistencia al desgaste y las propiedades antifatiga.

Análisis de la estructura en el plano de películas delgadas

Utiliza un escaneo continuo del eje β (rotación en el plano) de 0° a 360° para mapear las orientaciones de los granos dentro del plano de la película.

Esta función está diseñada específicamente para estudios de coincidencia de redes en películas delgadas epitaxiales y materiales bidimensionales, lo que permite analizar las relaciones de orientación de la interfaz de la heterounión y la densidad de defectos.

Sistema de posicionamiento mecánico de precisión

El sistema de movimiento multieje de los accesorios de medición integrados multifuncionales emplea codificadores de alta precisión y control de bucle cerrado para garantizar la repetibilidad y la exactitud de los datos:

Eje α (inclinación): Rango dinámico: -45° a 90°, tamaño mínimo de paso: 0,001°. Admite mediciones desde incidencia rasante hasta difracción de alto ángulo.

Eje β (rotación en el plano): rotación continua de 360°, paso de 0,001°. Permite un escaneo de orientación de la muestra sin ángulos muertos.

Eje Z (elevación vertical): Rango de desplazamiento: 0-10 mm, tamaño mínimo de paso: 0,001 mm. Admite muestras de espesor variable (desde recubrimientos nanométricos delgados hasta aleaciones gruesas).

Compatibilidad de muestras: Admite muestras de hasta 100 mm de diámetro con altura ajustable, adaptándose a diversas formas, desde obleas de silicio hasta piezas de trabajo personalizadas.

Áreas de aplicación de los accesorios de medición integrados multifuncionales

Evaluación de la textura cristalográfica (orientación preferencial) en láminas metálicas laminadas y otros materiales metálicos;

Análisis de la orientación cristalina en cerámicas;

Evaluación de la orientación cristalina preferida en muestras de película delgada;

Ensayos de tensiones residuales en diversos materiales metálicos y cerámicos (evaluación de propiedades como la resistencia al desgaste, la maquinabilidad, etc.);

Medición de tensiones residuales en películas multicapa (evaluación de la delaminación de la película, etc.);

Análisis de capas superficiales de óxido o nitruro en películas delgadas de materiales superconductores de alta temperatura, placas metálicas, etc.;

Caracterización de recubrimientos multicapa sobre sustratos de vidrio, silicio (Si) o metal (por ejemplo, películas delgadas magnéticas, recubrimientos metálicos endurecidos superficialmente);

Análisis de materiales chapados/recubiertos sobre polímeros, papel, lentes y otros sustratos.

https://www.tongdaxrd.com/news/into-dandong-tongda-technology-co-ltd