HRXRD es un poderosopruebas no destructivasmétodo, y sus objetos de investigación son principalmente materiales monocristalinos, materiales de película delgada epitaxiales monocristalinos y diversas heteroestructuras semiconductoras de baja dimensión. Es ampliamente utilizado para medir la calidad del monocristal, el espesor, los parámetros celulares y otros parámetros estructurales de películas epitaxiales.

El escaneo 2theta/omega se utiliza para detectar la dispersión coherente de capas atómicas paralelas a la superficie y se puede utilizar para determinar la composición de los parámetros celulares dentro, fuera del plano, el espesor y otros parámetros.

el patrón de escaneo 2theta/omega del GaN (0002)cristalrostro

Picos de oscilación de superred obvios y franjas de interferencia de película delgada entre picos de superred.

RSM es un método intuitivo para analizar los desajustes entre películas delgadas y sustratos y los defectos de las películas delgadas. ModernoHORAXRDEl uso de detectores 1D puede mejorar en gran medida la velocidad de la prueba; la adquisición rápida de un RSM solo lleva decenas de segundos.

La imagen es el resultado de una adaptación de espectro completo del escaneo 2theta/omega. Se puede observar que el mapa de ajuste concuerda bien con los datos de la prueba. El contenido de In es un parámetro importante en el proceso de crecimiento. Por lo tanto, HRXRD es una poderosa herramienta para monitorear el proceso de deposición.