La incidencia del pastoreo significa queradiografíase expone a la película en un ángulo de incidencia muy pequeño (< 5°), lo que reduce en gran medida la profundidad de penetración en la película. Al mismo tiempo, un ángulo de baja incidencia mayor aumenta el área de irradiación de rayos X sobre la muestra y aumenta el volumen de la muestra que participa en la difracción. En este artículo se presenta el papel de GID en el análisis estructural de películas delgadas.
Ejemplo: prueba GID de película monocapa
En este ejemplo, la muestra es una película policristalina de RuO2 de 14 nm preparada sobre un sustrato de silicio monocristalino (100). Por lo tanto, la señal de la muestra de película delgada en el convencionalXRDEl patrón está enmascarado por la señal del monocristal de Si. Aunque los picos de difracción de la película delgada se pueden ver en la imagen ampliada, la señal es muy débil. El espectro GID de la muestra en un ángulo incidente de 0,3 grados se muestra en la Figura 2. No hay señal de sustrato monocristalino de Si en la figura y la señal de la película es obvia.
Figura 1
Figura 2